11.金属ベローズ

金属ベローズ。

「金属製薄肉の蛇腹管で伸縮性のあるもの」を金属ベローズと呼ぶ。

伸縮性・機密性・バネ性があり、流体の気密封止シール材として、半導体製造装置、液晶、真空機器、自動車、医療機器、各種プラント、宇宙開発分野など広く活用されている。金属製ゆえに気圧の差に耐えられ、大気と真空を遮蔽する搬送部のシール材や極低温、超高圧などの極限の使用環境が予想される宇宙空間でも信頼性は高く、ロケット開発の分野でも広く使用されている。

他の用途としては燃料配管、アクチュエーター、配管、燃料コントロールバルブ、その他各種バルブ等がある。製法により、成形ベローズと溶接ベローズがある。